Установка плазмохимического синтеза УПСА-100 предназначена для выращивания нано-, моно- и поликристаллического алмаза и алмазных плёнок на кремниевых подложках диаметром до 75 мм в СВЧ разряде.

Основные технические характеристики:

диаметр получаемых алмазных пленок и пластин до 75 мм;

температура подложки в процессе осаждения от 500 ºС до 1200 ºС;

рабочее давление в рабочей камере (30 — 250) мм.рт.ст.;

минимальное давление в рабочей камере не более 10 -2 мм.рт.ст.;

мощность СВЧ излучения (600 — 5000) Вт;

частота СВЧ излучения 2,45 ГГц;

одновременная подача до 4-х газов;

расход газовой смеси от 0,36 до 60 л/ч;

время установления рабочего режима с момента включения установки не более 120 минут.