Установка МИР-7 предназначена для нанесения покрытий из оксида алюминия или оксида цинка методом атомно-слоевого осаждения. Данный метод позволяет получать с высокой точностью плёнки толщиной от нескольких нанометров или монослоёв до сотен нанометров, так как толщина покрытия регулируется количеством циклов последовательной подачи прекурсоров. Максимальный размер образца для нанесения покрытия (10 х 10 х10) см.