Установка выращивания углеродных нанотрубок позволяет получать углеродные нанотрубки на подложках шириной до 4,5 см методом CVD из углеродосодержащих газов с использованием катализатора. Камера загрузки образца отделена от кварцевого реактора вакуумным затвором, что позволяет осуществлять загрузку и выгрузку образцов без охлаждения реактора, что увеличивает производительность установки.
Основные технические характеристики:
— температура нагрева реактора до 800 °С;
— газ-носитель аргон;
— размеры подложки (4,5 х 10) см.