В оже-спектрометре PHI 700 производства фирмы Physical Electronics реализован метод электронной оже-спектроскопии.

Метод электронной оже-спектроскопии позволяет получать информацию об элементном и количественном составе исследуемой поверхности в результате анализа спектров характеристических оже-электронов, испускаемых материалом с глубины не более 5 нм.

Оже-спектрометр PHI 700 (Scanning Auger Nanoprobe System 700) предназначен для исследования поверхности образца, тонких плёнок, наноматериалов, субмикронных включений, фрактального анализа, границ раздела фаз. Позволяет получать изображение исследуемой поверхности во вторичных электронах (СЭМ-изображения), карты распределения химических элементов по поверхности, по линии, по глубине в сочетании с ионным травлением (послойный анализ) с высокой локальностью. В некоторых случаях возможно проведения анализа химического состояния элементов.

Для работы с получаемыми спектрами используется программа Multipack v8.2, являющаяся программным обеспечением оже-спектрометра PHI 700.

Основные характеристики:

— высокая локальность: латеральное разрешение ~ 10 нм, информационная глубина до 5 нм;

— чувствительность (0,1 — 3) ат. %;

— относительное разрешение анализатора типа цилиндрическое зеркало ~ 0,5 %;

— идентификация всех химических элементов, кроме водорода и гелия;

— энергия первичного пучка электронов 3, 5, 10 или 20 кэВ;

— вакуум ~ 10-10 торр;

— размеры исследуемых образцов: не более (50 х 50) мм и 15 мм по высоте.

Пример работы:

График распределения концентрации химических элементов по глубине при ионном травлении кремниевой пластины. Из полученного графика видно, что на поверхности кремния образовался оксид толщиной (0,5-0,6) мкм. Также на поверхности обнаружено органическое загрязнение, о чем свидетельствует наличие углерода, а на глубине порядка 0,5 мкм − примесь фтора.