МИМ-2.1 представляет собой лазерный фазовый интерференционный микроскоп дальнего поля с различными режимами модуляции для комплексного изучения микрообъектов. Он предназначен для измерения трехмерного микрорельефа поверхности с субмикронным разрешением и определения оптической плотности прозрачных микроструктур.
Принцип действия прибора основан на интерферометрии с использованием поляризационного анализа. Для визуализации объектов используется специальная обработка интерферограмм, получаемых в результате освещения объекта лазерным светом.
МИМ-2.1 применяется в материаловедении как средство неразрушающего контроля качества поверхности образцов (металлов и полупроводниковых структур), межслойных напряжений, дефектов кристаллов, уровней диффузии и т.д.
Основные технические характеристики:
— разрешение по вертикали (Z) в стандартных условиях 0,4 нм;
— разрешение по вертикали (Z) при использовании активной виброзащиты 0,1 нм;
— латеральное разрешение (X, Y) 1580 нм (в зависимости от объекта);
— оптическое увеличение микроскопа 1130 крат;
— поле зрения с объективом 100х/0,95 14,6 мкм;
— шаг дискретизации в плоскости 7 нм;
— шаг дискретизации по вертикали 0,01 нм;
— максимальная глубина изучаемого рельефа (260 — 800) нм (в зависимости от объекта);
— размер растра от (1 x 1) до (1024 x 1024) точек;
— скорость съемки 500 точек/с ;
— время съемки кадра (128 x 128) точек 33 с;
— время съемки кадра (1024 x 1024) точки 35 мин;
— максимальная частота динамических процессов 500 Гц;
— длина волны лазерного излучения 532 нм;
— мощность лазерного излучения 40 мВт;
— тип поляризации: эллиптическая;
— степень поляризации 200:1;
— диапазон изменения угла поляризации (0 — 360)°;
— шаг изменение угла поляризации (3,6 ± 0,1)°;
— максимальный размер образца 70 мм;
— максимальная толщина образца 16 мм;
— скорость фокусировки 10 мкм/с;
— шаг измерения фокусного расстояния 8 нм.
Примеры работ:
3D —изображение поверхности DVD-диска – носителя информации. На изображении видны впадины и дорожки, на которые записывается информация. Топография поверхности с высоким разрешением позволяет определить качество диска на микроуровне.
Трехмерный рельеф поверхности сверхгладких GaAs подложки.