МИМ-2.1 представляет собой лазерный фазовый интерференционный микроскоп дальнего поля с различными режимами модуляции для комплексного изучения микрообъектов. Он предназначен для измерения трехмерного микрорельефа поверхности с субмикронным разрешением и определения оптической плотности прозрачных микроструктур.

Принцип действия прибора основан на интерферометрии с использованием поляризационного анализа. Для визуализации объектов используется специальная обработка интерферограмм, получаемых в результате освещения объекта лазерным светом.

МИМ-2.1 применяется в материаловедении как средство неразрушающего контроля качества поверхности образцов (металлов и полупроводниковых структур), межслойных напряжений, дефектов кристаллов, уровней диффузии и т.д.

Основные технические характеристики:

– разрешение по вертикали (Z) в стандартных условиях 0,4 нм;

– разрешение по вертикали (Z) при использовании активной виброзащиты 0,1 нм;

– латеральное разрешение (X, Y) 1580 нм (в зависимости от объекта);

– оптическое увеличение микроскопа 1130 крат;

– поле зрения с объективом 100х/0,95 14,6 мкм;

– шаг дискретизации в плоскости 7 нм;

– шаг дискретизации по вертикали 0,01 нм;

– максимальная глубина изучаемого рельефа (260 – 800) нм (в зависимости от объекта);

– размер растра от (1 x 1) до (1024 x 1024) точек;

– скорость съемки 500 точек/с ;

– время съемки кадра (128 x 128) точек 33 с;

– время съемки кадра (1024 x 1024) точки 35 мин;

– максимальная частота динамических процессов 500 Гц;

– длина волны лазерного излучения 532 нм;

– мощность лазерного излучения 40 мВт;

– тип поляризации: эллиптическая;

– степень поляризации 200:1;

– диапазон изменения угла поляризации (0 – 360)°;

– шаг изменение угла поляризации (3,6 ± 0,1)°;

– максимальный размер образца 70 мм;

– максимальная толщина образца 16 мм;

– скорость фокусировки 10 мкм/с;

– шаг измерения фокусного расстояния 8 нм.

Примеры работ:

3D –изображение поверхности DVD-диска – носителя информации. На изображении видны впадины и дорожки, на которые записывается информация. Топография поверхности с высоким разрешением позволяет определить качество диска на микроуровне.

Трехмерный рельеф поверхности сверхгладких GaAs подложки.