МИМ-2.1 представляет собой лазерный фазовый интерференционный микроскоп дальнего поля с различными режимами модуляции для комплексного изучения микрообъектов. Он предназначен для измерения трехмерного микрорельефа поверхности с субмикронным разрешением и определения оптической плотности прозрачных микроструктур.

Принцип действия прибора основан на интерферометрии с использованием поляризационного анализа. Для визуализации объектов используется специальная обработка интерферограмм, получаемых в результате освещения объекта лазерным светом.

МИМ-2.1 применяется в материаловедении как средство неразрушающего контроля качества поверхности образцов (металлов и полупроводниковых структур), межслойных напряжений, дефектов кристаллов, уровней диффузии и т.д.

Основные технические характеристики:

— разрешение по вертикали (Z) в стандартных условиях 0,4 нм;

— разрешение по вертикали (Z) при использовании активной виброзащиты 0,1 нм;

— латеральное разрешение (X, Y) 1580 нм (в зависимости от объекта);

— оптическое увеличение микроскопа 1130 крат;

— поле зрения с объективом 100х/0,95 14,6 мкм;

— шаг дискретизации в плоскости 7 нм;

— шаг дискретизации по вертикали 0,01 нм;

— максимальная глубина изучаемого рельефа (260 — 800) нм (в зависимости от объекта);

— размер растра от (1 x 1) до (1024 x 1024) точек;

— скорость съемки 500 точек/с ;

— время съемки кадра (128 x 128) точек 33 с;

— время съемки кадра (1024 x 1024) точки 35 мин;

— максимальная частота динамических процессов 500 Гц;

— длина волны лазерного излучения 532 нм;

— мощность лазерного излучения 40 мВт;

— тип поляризации: эллиптическая;

— степень поляризации 200:1;

— диапазон изменения угла поляризации (0 — 360)°;

— шаг изменение угла поляризации (3,6 ± 0,1)°;

— максимальный размер образца 70 мм;

— максимальная толщина образца 16 мм;

— скорость фокусировки 10 мкм/с;

— шаг измерения фокусного расстояния 8 нм.

Примеры работ:

3D —изображение поверхности DVD-диска – носителя информации. На изображении видны впадины и дорожки, на которые записывается информация. Топография поверхности с высоким разрешением позволяет определить качество диска на микроуровне.

Трехмерный рельеф поверхности сверхгладких GaAs подложки.